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無塵室污染源運轉管理維護保養
日期：2025-06-04 07:17
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摘要：
無塵室污染源運轉管理維護保養
一、污染源控制
無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件&mdash&mdash管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員占約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。
無塵室的污染源可分為外污染及內污染源。外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等，圖2為微塵粒子的傳送路徑。
對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功能，因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環節。表一為自然環境所測得的塵埃濃度，可為設計參考，而在微污染控制，其基本原則有四：
1.外部塵埃侵入之防止：
無塵室適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。
2.室內發塵之防止：
隔間板、地板等無塵室材料的適當選用、制程設備的發塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。
3.室內發塵之不積留：
墻壁體應光滑無死角、無塵室需定期保養和清掃、制程設備四周應留有空間。
4.發生塵埃之排除：
換氣次數應足夠，適當的空間布置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須適當。
人、物入室的管理問題、實際的作業條件和工程管理關聯之問題、室內之空調及清掃關系之問題，這些問題將于下節祥述。
無塵室污染源運轉管理維護保養
無塵室污染源運轉管理維護保養
測量地點 | 微塵粒子數（個/ft3）&ge0.5μm |
大氣層圈 | ≦100 |
田園地區（微風狀態） | 100，000~300，000 |
住宅地區 | 100，000~200，000 |
辦公室（工作中） | 200，000~400，000 |
工業區 | 400，000~1，000，000 |
正在吸煙的會議室 | 600，000~1，000，000 |
測量地點 | 微塵粒子數（個/ft3）&ge0.5μm |
大氣層圈 | ≦100 |
田園地區（微風狀態） | 100，000~300，000 |
住宅地區 | 100，000~200，000 |
辦公室（工作中） | 200，000~400，000 |
工業區 | 400，000~1，000，000 |
正在吸煙的會議室 | 600，000~1，000，000 |
二、無塵室運轉管理
無塵室運轉管理，可依作業人員、原物料、設備及無塵室內所用東西等加以探討，并依計劃（planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking）、動作(Action)之PDCA循環步驟執行。
1.作業人員之管理
前以提及在無塵室內污染來源80%來自作業人員,因此若能使作業人員依無塵室管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的產生可說已減大半。現就進入無塵室的作業人員之管理和注意事項說明如下：
?。?/span>1）進入無塵室之人員，必須要具備有達成高潔凈度標準，并要維持*好狀態之觀念。
（2）作業人員進入無塵室數目以維持*小限度原則（愈少愈好），并須依無塵室進出標準流程進出無塵室，出則相反方向進行，唯不須經空氣洗塵室之脫塵處理。
?。?/span>3）對作業人員必須經常講解無塵室管理之數據，并加以教育與訓練，內容如無塵室管理之一般常識、無塵室之構造與功能、維護和清潔、**對策、搬運器材之潔凈管理與檢查、潔凈衣之穿脫、無塵室內之步行方式等，并經考試合格者方能進入無塵室工作。
（4）在無塵室作業人員須經常保持自己各方面的干凈與清潔。
?。?/span>5）在無塵室內之作業人員或其它人員之移動或動作均為發塵源，其直接影響制程，同時亦會影響氣流之擾動，為防止與控制上述情形，基本上須注下列事項：
a.不可在作業區域氣流之上方放置物品或做其它作業。
b.不必要之動作盡量避免以防止亂流發塵。
c.與作業無關的私心談話盡量避免。
d.為控制發塵量，人員步行及作業要靜靜地進行。表2所示為人體在不同動作時之發塵量。
e.作業要在潔凈之工作柜或工作桌進行。
f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中，并置放一定的場所。
（6）作業人員須經常保持干凈之手，除了常洗手、剪指甲外，手并應保養，以防皮膚之剝離，男性須每天刮胡子。
（7）潔凈衣要經常保持著衣之狀態。
（8）下列所述者不能進入無塵室：
a.非作業人員或事先未得許可者。
b.未照規定穿著潔凈衣者。
c.剛做激烈運動流汗者。
d.吸煙或吃東西后，尚未經過半小時以上者。很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘后才降至15倍，此為為何無塵室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準進入的原因所在。故針對在無塵室作業人員之招募，若能選擇不吸煙者為對象，將可帶來甚大利益。
&ge0.3μm | &ge0.5μm | |||||
一般工作服 | 無塵服 | 普通作業服 | 無塵服 | |||
白衣形 | 全覆形 | 白衣形 | 全覆形 | |||
站立（靜姿） | 543，000 | 151，000 | 13，800 | 339，000 | 113，000 | 5，580 |
坐下（靜姿） | 44，800 | 142，000 | 14，800 | 302，000 | 112，000 | 7，420 |
腕上下 | 4，450，000 | 463，000 | 49，000 | 2，980，000 | 298，000 | 18，600 |
上身前屈 | 3，920，000 | 770，000 | 39，200 | 2，240，000 | 538，000 | 24，200 |
腕的自由運動 | 3，470，000 | 572，000 | 52，100 | 2，240，000 | 298，000 | 20，600 |
頭的上下運動 | 1，230，000 | 187，000 | 22，100 | 631，000 | 151，000 | 11，000 |
屈身 | 4，160，000 | 1，110，000 | 62，500 | 3，120，000 | 605，000 | 37，400 |
踏步 | 4，240，000 | 1，210，000 | 92，100 | 2，800，000 | 861，000 | 44，600 |
步行 | 5，360，000 | 1，290，000 | 157，000 | 2，920，000 | 1，010，000 | 56，000 |
?。?/span>9）有下列健康狀態或體質者原則上不能進入無塵室：
a.因日曬、濕診而皮膚有問題者。
b.化學纖維或有機溶劑等化學藥品有過敏性體質者。
c.容易出受汗者。
d.比一般人皮膚表皮容易剝離、頭皮或體毛容易掉落者。
e.化妝或涂口紅者。
f.有重大精神病、神經過敏或閉瑣恐懼者。
g.因**、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。
但對于有下列性格的人，則*適宜進入無塵室工作：
a.做事細心有耐性者。
b.勤于整理整頓，經常自己注意身邊清潔的人。
c.經常留意自己之健康者。
10.以下之物品不能帶進無塵室：
a)沒有經過清潔過程之器材、零件物品、測定器等各種物品。
b)紙箱及未經特別處理之記錄或筆記用紙、影印數據等。
c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。
d)香煙、化妝品、衛生紙、飲食品等。
e)作業員個人用品如打火機、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊或其它個人物品等。
無塵室潔凈度維持之*大控制對象為作業人員，因此對于作業人員之數目、行動狀態、進出規則之制定與執行，提高無塵室內作業人之潔凈度意識、反復教育，均為必須，表3所示為因作業人員之動作而產生污染的增加倍率。
